化学气相沉积炉

一、产品介绍：
       本系列化学气相沉积炉分为四个系统，炉体系统，真空系统，气路系统，控制系统
   炉体系统：炉体外壳采用冷板卷焊接成圆形，炉壳上下加装炉端盖。炉壳内部为圆形加热炉膛，分为两层，耐火层和保温层。耐火层由1800度含锆纤维真空浇注而成，在高温下具有热收缩小，耐火温度高的特点；保温层选用氧化铝纤维材料，保温好，热损失小。直径90mm的氧化铝刚玉管从炉膛中部穿过，两端采用法兰水套和氟橡胶圈进行固定和密封，为了减缓在高温下氟橡胶密封圈的老化，水套通循环水进行降温。刚玉管下法兰上留有进气口和放气口；上法兰上留有真空泵连接口，电阻真空计连接口，指针式压力表连接口。硅钼棒加热体分布在刚玉管四周对刚玉管内部的材料进行加热。
炉体下部为机械运行机构，丝杠拖座固定在丝杠滑块上通过电机、减速机、涡轮带动滚轴丝杠转动实现丝杠滑块上下运行可将所要加热的物料以及模具送入炉膛内部进行加热，丝杠运行通过限位开关进行限位。
真空系统：由指针式压力表，电阻真空规管，真空计，真空泵，尾气吸收瓶，尾气过滤瓶等组成。指针式压力表和真空计用于显示炉管内部的压力。在高温沉积过程中炉管内部产生的酸性废气经尾气吸收瓶中的氢氧化钠水溶液吸收酸性，再经尾气过滤瓶中的真空泵油过滤水分后从连续工作的真空泵排出。尾气吸收瓶和尾气过滤瓶主要是过滤酸性气体和水提高真空泵的使用寿命。
气路系统：由阀门，过滤器，转子流量计，混气罐等组成。在高温沉积过程中需要参与反应的气体经阀门、过滤器、玻璃转子流量计进入混气罐，几种气体混合后通过下法兰上的进气口进入炉管内与物料进行反应沉积。
本系列化学气相沉积炉的控制系统为独立的控制柜，控温仪表采用日本岛电公司生产的FP93温控仪表，控温精度高，控温效果好，读数直观、操作方便。
为了降低事故的发生本系列电阻炉带有超温报警功能，当设定温度超过设定报警温度时，报警器开始报警通知使用者于此同时切断主回路电源，使其停止加热，当温度回到设定报警温度以下时，报警开始解除，报警器停止报警，主回路电源接通，电炉开始工作。
断偶情况下报警器也起作用。

二、产品名称、型号、技术参数
产品名称：化学气相沉积炉
型    号：SKL16-Φ90×400-JBL
技术参数：
          
        电源电压：     380V               电源相数：          2相
        电源频率：     50HZ               额定功率：          12KVA
        额定温度：     1600℃             空炉升温时间：      ≤120min
        炉温稳定度：   ≤±1℃            加热区尺寸：        Φ80×400mm
        工作区尺寸：Φ80×120

使用单位;北京化工大学常州分院