CVD沉碳化硅炉

一、产品简介
    本系列CVD沉碳化硅炉(以下简称CVD炉)分为气路系统，炉体加热系统，真空处理系统三部分。
     进气路系统：由流量柜、质量流量计、质量显示仪，阀门，混气罐，压力表等组成。所需气体由气瓶流出过减压阀进行减压，通过质量流量计，质量流量计根据工艺要求进行调节流速，以达到实验使用目的，实验使用气体通过流量计后进入不锈钢混气装置。气体进入混气装置后经混气筛进行充分混合，混气装置上带有压力指针显示器，用于观察混气装置内部的压力。充分混合后的气体从炉体底部进气口进入刚玉管内参与反应。
    炉体加热系统:由炉体，运行丝杠，电控柜等组成。电阻炉炉体外型为圆柱形，炉壳用不锈钢板氩弧焊接而成，炉体固定在装有升降系统的支架上，炉壳内部为炉膛为分内外两层内层为耐火层，由1600的高晶纤维真空浇筑而成，在高温下变形小，耐温高。外层为保温层，采用1300度的高铝纤维材料，保温效果好，热损失小。内径为80mm外径为90mm长度为1200mm的氧化铝刚玉管从炉膛中部穿过，刚玉管四周均匀的分布着碳化硅加热体。对内部进行环形加热，提高了热场的有效面积。刚玉管上下两端采用循环水不锈钢法兰及硅橡胶O型圈进行密封，提高了密封圈的使用寿命。上法兰留有真空系统连接管道口，使用前可预抽真空，通过真空压力表显示内部真空度。进料口在炉体下部，减速电机带动涡轮运行，实现滚珠丝杠的运行，为了保证丝杠的运行方向，丝杠两端固定导向杠，炉门固定在支架上由丝杠上的滚块带动机械升降可平稳的实现炉口的开启，升降系统装有自动限位开关，确保使用安全使用。
电炉配电系统安装在炉体一侧，仪表采用日本岛电FP93控温仪，读数直观，操作方便。
    本系列CVD炉还带有超温报警功能，当温度超过设定报警值时，蜂鸣器开始报警，并切断加热电源，以杜绝事故的发生，安全有效。
   真空系统：由真空泵，玻璃瓶，等。上法兰上真空管道连接口通过KF快接法兰进行连接，方便快捷。在高温下真空泵将参与反应的废气抽出，废气经冷却系统进行冷却，在经油溶液进行进行沉淀除水。最后由真空泵排出。既提高了真空泵的使用寿命又减少了对环境的污染。

二、产品名称，型号、技术参数

    产品名称：CVD沉碳化硅炉
    型    号：   SKLZ13-ф80×400-JBL
    技术参数：
        电源电压：   380 V                   电源频率：    50HZ
        相    数：   两相                    额定功率：    7KW
        使用温度：   1200℃                  最高温度：    1300℃
         炉膛尺寸：   Ф200×400                炉管尺寸：    Ф80（内径）×1300

使用单位：大连理工大学高邮研究院